原理:
物鏡將樣品發(fā)出的散射、反射、熒光光線校正為平行光束,后端搭配管鏡聚焦成像;
僅采集可遠(yuǎn)距離傳播的傳播波,無(wú)法捕獲緊貼樣品表面、指數(shù)衰減的倏逝波,因此存在衍射分辨率上限;
優(yōu)勢(shì):可在物鏡與樣品間插入偏振片、分光鏡、相位環(huán)等光學(xué)附件,不產(chǎn)生像差畸變,適配多光路精密檢測(cè)系統(tǒng)。
應(yīng)用場(chǎng)景:
工業(yè)檢測(cè)領(lǐng)域:用于半導(dǎo)體晶圓、厚層PCB板、大尺寸工件的表面缺陷觀測(cè),長(zhǎng)工作距離可避免鏡頭觸碰工件造成損傷。
生物科研領(lǐng)域:適配培養(yǎng)皿內(nèi)活體細(xì)胞的長(zhǎng)時(shí)間無(wú)接觸觀測(cè),配合熒光模塊可實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)消像散成像,保障細(xì)胞活性不受鏡頭干擾。
特殊工況觀測(cè):可在高溫爐腔、真空腔等封閉空間外,隔著透明窗口完成內(nèi)部樣品的顯微觀測(cè),無(wú)需打開(kāi)腔體破壞實(shí)驗(yàn)環(huán)境。
遠(yuǎn)場(chǎng)顯微物鏡的使用注意事項(xiàng):
清潔維護(hù):使用專用鏡頭紙和光學(xué)清潔劑,避免劃傷鍍膜
避免碰撞:高倍物鏡工作距離短,操作時(shí)需小心避免物鏡與樣品碰撞
環(huán)境控制:溫度變化會(huì)引起焦距漂移,準(zhǔn)確測(cè)量需在恒溫環(huán)境下進(jìn)行
浸沒(méi)介質(zhì):油浸物鏡需使用匹配折射率的浸油,水浸物鏡使用去離子水
存儲(chǔ):長(zhǎng)期不用時(shí)放入干燥箱,避免鏡片發(fā)霉
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